索尼投資600億日元強(qiáng)化CMOS傳感器生產(chǎn)
據(jù)來(lái)自日本的消息，7月20日，日本索尼半導(dǎo)體公司對(duì)外公開(kāi)了該公司九州熊本技術(shù)中心的CMOS傳感器工廠的一條生產(chǎn)線，這是該公司2007年春季開(kāi)始使用300mm晶圓量產(chǎn)CMOS傳感器2號(hào)廠房。
目前，索尼正在對(duì)自行生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行甄別。CMOS傳感器、CCD等攝像元件由于直接關(guān)系到該公司產(chǎn)品的性能，而且能夠在制造工藝上有別于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，因此被定位于需要強(qiáng)化生產(chǎn)設(shè)備的部分。該公司已經(jīng)表示，計(jì)劃在2007年度至2009年度，對(duì)此次生產(chǎn)線投入600億日元進(jìn)行強(qiáng)化及改進(jìn)。
索尼計(jì)劃提高高速讀取CMOS傳感器的生產(chǎn)比例，向市場(chǎng)投放具有CCD無(wú)法實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)的數(shù)碼相機(jī)產(chǎn)品。為此，該公司今后的設(shè)備投資將主要面向CMOS傳感器。但是，CCD生產(chǎn)線與CMOS傳感器生產(chǎn)線約有8成的生產(chǎn)設(shè)備可以共用。因此，在建造工廠時(shí)，索尼把各生產(chǎn)線專用設(shè)備的采用量控制到了最小限度，建成了能夠根據(jù)市場(chǎng)行情改變生產(chǎn)內(nèi)容的體制。
此次公開(kāi)的2號(hào)廠房的特點(diǎn)是在前期工序的生產(chǎn)線中采用了自動(dòng)化生產(chǎn)管理系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)及設(shè)備操作的自動(dòng)化、檢査工序的自動(dòng)化、設(shè)備異常及工藝變更的自動(dòng)檢測(cè)、處理情況向工藝條件的回饋、靈活的生產(chǎn)計(jì)劃制定等。這套名為“設(shè)備工程系統(tǒng)（Equipment Engineering System：EES）”的生產(chǎn)管理系統(tǒng)能夠使用傳感器，對(duì)以前樣品抽樣檢測(cè)中檢測(cè)過(guò)的高頻及直流電源、板溫度、真空壓力的誤差實(shí)時(shí)監(jiān)控。而且，2號(hào)廠房還能夠利用可通過(guò)測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算設(shè)備參數(shù)的系統(tǒng)—“高級(jí)元件控制”（Advanced_Device_Control：ADC）”來(lái)控制裝置內(nèi)部加熱器的開(kāi)關(guān)和晶圓向裝置的搬入/搬出。利用這些自動(dòng)管理系統(tǒng)，可以事先察覺(jué)重大問(wèn)題及工藝處理變動(dòng)導(dǎo)致的成品率下降，并制定對(duì)策。目前系統(tǒng)尚未完全啟用，正在進(jìn)行安裝。
后工序多采用自產(chǎn)裝置也是索尼工廠的特點(diǎn)，這也反映了該公司在最初量產(chǎn)攝像元件時(shí)，由于沒(méi)有攝像元件制造裝置和檢査裝置，必須自行開(kāi)發(fā)的歷史。
目前，索尼正在對(duì)自行生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行甄別。CMOS傳感器、CCD等攝像元件由于直接關(guān)系到該公司產(chǎn)品的性能，而且能夠在制造工藝上有別于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，因此被定位于需要強(qiáng)化生產(chǎn)設(shè)備的部分。該公司已經(jīng)表示，計(jì)劃在2007年度至2009年度，對(duì)此次生產(chǎn)線投入600億日元進(jìn)行強(qiáng)化及改進(jìn)。
索尼計(jì)劃提高高速讀取CMOS傳感器的生產(chǎn)比例，向市場(chǎng)投放具有CCD無(wú)法實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)的數(shù)碼相機(jī)產(chǎn)品。為此，該公司今后的設(shè)備投資將主要面向CMOS傳感器。但是，CCD生產(chǎn)線與CMOS傳感器生產(chǎn)線約有8成的生產(chǎn)設(shè)備可以共用。因此，在建造工廠時(shí)，索尼把各生產(chǎn)線專用設(shè)備的采用量控制到了最小限度，建成了能夠根據(jù)市場(chǎng)行情改變生產(chǎn)內(nèi)容的體制。
此次公開(kāi)的2號(hào)廠房的特點(diǎn)是在前期工序的生產(chǎn)線中采用了自動(dòng)化生產(chǎn)管理系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)及設(shè)備操作的自動(dòng)化、檢査工序的自動(dòng)化、設(shè)備異常及工藝變更的自動(dòng)檢測(cè)、處理情況向工藝條件的回饋、靈活的生產(chǎn)計(jì)劃制定等。這套名為“設(shè)備工程系統(tǒng)（Equipment Engineering System：EES）”的生產(chǎn)管理系統(tǒng)能夠使用傳感器，對(duì)以前樣品抽樣檢測(cè)中檢測(cè)過(guò)的高頻及直流電源、板溫度、真空壓力的誤差實(shí)時(shí)監(jiān)控。而且，2號(hào)廠房還能夠利用可通過(guò)測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算設(shè)備參數(shù)的系統(tǒng)—“高級(jí)元件控制”（Advanced_Device_Control：ADC）”來(lái)控制裝置內(nèi)部加熱器的開(kāi)關(guān)和晶圓向裝置的搬入/搬出。利用這些自動(dòng)管理系統(tǒng)，可以事先察覺(jué)重大問(wèn)題及工藝處理變動(dòng)導(dǎo)致的成品率下降，并制定對(duì)策。目前系統(tǒng)尚未完全啟用，正在進(jìn)行安裝。
后工序多采用自產(chǎn)裝置也是索尼工廠的特點(diǎn)，這也反映了該公司在最初量產(chǎn)攝像元件時(shí)，由于沒(méi)有攝像元件制造裝置和檢査裝置，必須自行開(kāi)發(fā)的歷史。
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