微型機械加工技術國內外發展現狀及趨勢 ２
我國有很多機構對多種微型機械加工的方法開展了相應的研究，已奠定了一定的加工基礎，能進行硅平面加工和體硅加工、LIGA加工、微細電火花加工及立體光刻造型法加工等。
--微型機械加工技術的發展趨勢
微型機械加工技術的發展剛剛經歷了十幾年，在加工技術不斷發展的同時發展了一批微小器件和系統，顯示了巨大生命力。作為大批量生產的微型機械產品，將以其價格低廉和優良性能贏得市場，在生物工程、化學、微分析、光學、國防、航天、工業控制、醫療、通訊及信息處理、農業和家庭服務等領域有著潛在的巨大應用前景。當前，作為大批量生產的微型機械產品如微型壓力傳感器、微細加速度計和噴墨打印頭已經占領了巨大市場。目前市場上以流體調節與控制的微機電系統為主，其次為壓力傳感器和慣性傳感器。1995年全球微型機械的銷售額為15億美元，有人預計到2002年，相關產品值將達到400億美元。顯然微型機械及其加工技術有著巨大的市場和經濟效益。
微型機械是一門交叉科學，和它相關的每一技術的發展都會促使微型機械的發展。隨著微電子學、材料學、信息學等的不斷發展，微型機械具備了更好的發展基礎。由于其巨大的應用前景和經濟效益以及政府、企業的重視，微型機械發展必將有更大的飛躍。新原理、新功能、新結構體系的微傳感器、微執行器和系統將不斷出現，并可嵌入大的機械設備，提高自動化和智能水平。
微型機械加工技術作為微型機械的最關鍵技術，也必將有一個大的發展。硅加工、LIGA加工和準LIGA加工正向著更復雜、更高深度適合各種要求的材料特性和表面特性的微結構以及制作不同材料特別是功能材料微結構、更易于與電路集成的方向發展，多種加工技術結合也是其重要方向。微型機械在設計方面正向著進行結構和工藝設計的同時實現器件和系統的特性分析和評價的設計系統的實現方向發展，引入虛擬現實技術。
我國在微型加工技術發展的優先發展領域是生物學、環境監控、航空航天、工業與國防等領域，建設好幾個有世界先進水平的微型機械研究開發基地，同時亦重視微觀尺度上的新物理現象和新效應的研究，加速我國微型機械的研究與開發，迎接二十一世紀技術與產業革命的挑戰。
--微型機械加工的關鍵技術
微型機械是一個新興的、多學科交叉的高科技領域，面臨許多課題，涉及許多關鍵技術。
當一個系統的特征尺寸達到微米級和納米級時，將會產生許多新的科學問題。例如隨著尺寸的減少，表面積與體積之比增加，表面力學、表面物理效應將起主導作用，傳統的設計和分析方法將不再適用。為摩擦學、微熱力這等問題在微系統中將至關重要。微系統尺度效應研究將有助于微系統的創新。
微型機械不是傳統機械直接微型化，它遠超出了傳統機械的概念和范疇。微型機械在尺度效應、結構、材料、制造方法和工作原理等方面，都與傳統機械截然不同。微系統的尺度效應、物理特性研究、設計、制造和測試研究是微系統領域的重要研究內容。
在微系統的研究工作方面，一些國內外研究機構已在微小型化尺寸效應，微細加工工藝、微型機械材料和微型結構件、微型傳感器、微型執行器、微型機構測量技術、微量流體控制和微系統集成控制以及應用等方面取得不同程度的階段性成果。微型機械加工技術是微型機械發展的關鍵基礎技術，其中包括微型機械設計微細加工技術、微型機械組裝和封裝技術、為系統的表征和測量技術及微系統集成技術。
微型機械加工技術領域的前沿關鍵技術有：
1、微系統設計技術
主要是微結構設計數據庫、有限元和邊界分析、CAD/CAM仿真和擬實技術、微系統建模等，微小型化的尺寸效應和微小型理論基礎研究也是設計研究不可缺少的課題，如：力的尺寸效應、微結構表面效應、微觀摩擦機理、熱傳導、誤差效應和微構件材料性能等。
2、微細加工技術
主要指高深度比多層微結構的硅表面加工和體加工技術，利用X射線光刻、電鑄的LIGA和利用紫外線的準LIGA加工技術；微結構特種精密加工技術包括微火花加工、能束加工、立體光刻成形加工；特殊材料特別是功能材料微結構的加工技術；多種加工方法的結合；微系統的集成技術；微細加工新工藝探索等。
3、微型機械組裝和封裝技術
主要指沾接材料的粘接、硅玻璃靜電封接、硅硅鍵合技術和自對準組裝技術，具有三維可動部件的封裝技術、真空封裝技術等新封裝技術的探索。
4、微系統的表征和測試技術
主要有結構材料特性測試技術，微小力學、電學等物理量的測量技術，微型器件和微型系統性能的表征和測試技術，微型系統動態特性測試技術，微型器件和微型系統可靠性的測量與評價技術。
--微型機械加工技術的發展趨勢
微型機械加工技術的發展剛剛經歷了十幾年，在加工技術不斷發展的同時發展了一批微小器件和系統，顯示了巨大生命力。作為大批量生產的微型機械產品，將以其價格低廉和優良性能贏得市場，在生物工程、化學、微分析、光學、國防、航天、工業控制、醫療、通訊及信息處理、農業和家庭服務等領域有著潛在的巨大應用前景。當前，作為大批量生產的微型機械產品如微型壓力傳感器、微細加速度計和噴墨打印頭已經占領了巨大市場。目前市場上以流體調節與控制的微機電系統為主，其次為壓力傳感器和慣性傳感器。1995年全球微型機械的銷售額為15億美元，有人預計到2002年，相關產品值將達到400億美元。顯然微型機械及其加工技術有著巨大的市場和經濟效益。
微型機械是一門交叉科學，和它相關的每一技術的發展都會促使微型機械的發展。隨著微電子學、材料學、信息學等的不斷發展，微型機械具備了更好的發展基礎。由于其巨大的應用前景和經濟效益以及政府、企業的重視，微型機械發展必將有更大的飛躍。新原理、新功能、新結構體系的微傳感器、微執行器和系統將不斷出現，并可嵌入大的機械設備，提高自動化和智能水平。
微型機械加工技術作為微型機械的最關鍵技術，也必將有一個大的發展。硅加工、LIGA加工和準LIGA加工正向著更復雜、更高深度適合各種要求的材料特性和表面特性的微結構以及制作不同材料特別是功能材料微結構、更易于與電路集成的方向發展，多種加工技術結合也是其重要方向。微型機械在設計方面正向著進行結構和工藝設計的同時實現器件和系統的特性分析和評價的設計系統的實現方向發展，引入虛擬現實技術。
我國在微型加工技術發展的優先發展領域是生物學、環境監控、航空航天、工業與國防等領域，建設好幾個有世界先進水平的微型機械研究開發基地，同時亦重視微觀尺度上的新物理現象和新效應的研究，加速我國微型機械的研究與開發，迎接二十一世紀技術與產業革命的挑戰。
--微型機械加工的關鍵技術
微型機械是一個新興的、多學科交叉的高科技領域，面臨許多課題，涉及許多關鍵技術。
當一個系統的特征尺寸達到微米級和納米級時，將會產生許多新的科學問題。例如隨著尺寸的減少，表面積與體積之比增加，表面力學、表面物理效應將起主導作用，傳統的設計和分析方法將不再適用。為摩擦學、微熱力這等問題在微系統中將至關重要。微系統尺度效應研究將有助于微系統的創新。
微型機械不是傳統機械直接微型化，它遠超出了傳統機械的概念和范疇。微型機械在尺度效應、結構、材料、制造方法和工作原理等方面，都與傳統機械截然不同。微系統的尺度效應、物理特性研究、設計、制造和測試研究是微系統領域的重要研究內容。
在微系統的研究工作方面，一些國內外研究機構已在微小型化尺寸效應，微細加工工藝、微型機械材料和微型結構件、微型傳感器、微型執行器、微型機構測量技術、微量流體控制和微系統集成控制以及應用等方面取得不同程度的階段性成果。微型機械加工技術是微型機械發展的關鍵基礎技術，其中包括微型機械設計微細加工技術、微型機械組裝和封裝技術、為系統的表征和測量技術及微系統集成技術。
微型機械加工技術領域的前沿關鍵技術有：
1、微系統設計技術
主要是微結構設計數據庫、有限元和邊界分析、CAD/CAM仿真和擬實技術、微系統建模等，微小型化的尺寸效應和微小型理論基礎研究也是設計研究不可缺少的課題，如：力的尺寸效應、微結構表面效應、微觀摩擦機理、熱傳導、誤差效應和微構件材料性能等。
2、微細加工技術
主要指高深度比多層微結構的硅表面加工和體加工技術，利用X射線光刻、電鑄的LIGA和利用紫外線的準LIGA加工技術；微結構特種精密加工技術包括微火花加工、能束加工、立體光刻成形加工；特殊材料特別是功能材料微結構的加工技術；多種加工方法的結合；微系統的集成技術；微細加工新工藝探索等。
3、微型機械組裝和封裝技術
主要指沾接材料的粘接、硅玻璃靜電封接、硅硅鍵合技術和自對準組裝技術，具有三維可動部件的封裝技術、真空封裝技術等新封裝技術的探索。
4、微系統的表征和測試技術
主要有結構材料特性測試技術，微小力學、電學等物理量的測量技術，微型器件和微型系統性能的表征和測試技術，微型系統動態特性測試技術，微型器件和微型系統可靠性的測量與評價技術。
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