歐姆龍將非接觸溫度傳感器靈敏度提高至原來的7倍

歐姆龍在最新召開的"第37屆國際福利機器展"推出了一款新型非接觸式溫度傳感器，由于采用了MEMS技術，傳感器元件縮小為150微米，將傳感器元件排成16*16的陣列時，芯片尺寸只有6mm見方，據稱為"業界最小水平"，靈敏度提到到原有的7倍。

歐姆龍表示，非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點，即對照明環境適應性強，可感應到處于靜止狀態的人。但因其靈敏度較低，需要縮小感應區域。因此，要在較大的空間內進行檢測，需要安裝用來驅動非接觸溫度傳感器的機構以及多個傳感器，所以目前尚未普及。

普通的非接觸溫度傳感器元件，很多紅外線都會穿透紅外線吸收膜，因而靈敏度較低。此次通過采用在開發液晶用背照燈時培育的光波控制技術，開發出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發這種微鏡時，研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡，因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進行真空接合，從而減少釋放到空氣中的熱量，以此提高靈敏度。可在保持響應速度不變的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣，便可使感應區域擴大至原來的7倍。此次開發的據該公司介紹，芯片的靈敏度為350V/W，響應速度為3ms左右。

感應區域擴大至原來的7倍后，可在店鋪及車站等場所，實時檢測人群的擁擠情況，由此可將非接觸溫度傳感器用于空調控制用途，還能用于檢測夜間有人闖入等防盜用途。歐姆龍公司表示，今后將推進MEMS非接觸溫度傳感器的產品化，通過將其連接至傳感器網絡等措施。