40臺烤箱(芯片老化)溫度專用監視記錄系統

一、概述：此系統是對半導體芯片加工過程中，需要對出產的芯片進行老化檢驗這一工藝而開發的專用系統。它全自動對40臺烤箱(芯片老化，共240個溫度點)的溫度按年月日同時進行24小時全天采集監視記錄，值班人員可隨時根據烤箱的溫度數據情況確認當前數據是否異常，并且可以保存確認記錄，以便今后查看、打印歷史記錄。運用此系統，用戶可以大大提高生產效率，減輕工人的工作量，同時，對公司的產品質量的提高提供了一手的原始數據。目前已經有4套系統在日月光(上海)半導體的三個車間運行，溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫為0--250℃，溫度誤差±2℃。更新速度1次/秒，保存速度1次/分。

二、.技術指標：
烤箱數：40臺
每個烤箱溫度點：6個
總溫度點：40x6=240個
熱電偶類型：J、K(默認)、T、E、R、S、B、N
AD分辨率：24位
更新速度：1次/秒
采集模塊：采用本公司ZP1018模塊，共用40個模塊
主機模塊：采用本公司ZP1090模塊，共用5個模塊
每個主機模塊帶8個ZP1018模塊
通信模式：HEX模式（本公司特有模式，推薦用）
通信波特率：9600bps
通訊接口：RS485接口，2線制
通信距離：1200米，加中繼器可以更長距離
電壓精度等級：±0.05% FSR或更高
溫度精度等級：根據用戶的熱點偶的精度等級確定
系統工作溫度：-20℃～70℃