技術(shù)頻道

      臺達(dá)電源閃亮成都光刻機(jī)

      摘 要:本文主要描述了臺達(dá)電源在光刻機(jī)上的良好應(yīng)用。光刻機(jī)由于嚴(yán)格的使用環(huán)境及對電源性能的特殊要求,使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機(jī)在使用臺達(dá)電源后,完全達(dá)到了設(shè)備的設(shè)計要求,也將臺達(dá)電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。

      關(guān)鍵字:臺達(dá) 導(dǎo)軌式 電源 光刻機(jī)

        引言:在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天,工業(yè)設(shè)備的精密度不斷得到提高,與此同時最終用戶對產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度,這就給設(shè)備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。而在電源的使用上目前工業(yè)設(shè)備在低壓電源方面使用上有平板和導(dǎo)軌兩種安裝方式,而兩種不同的安裝方式也對應(yīng)不同的性能指標(biāo)。導(dǎo)軌式電源優(yōu)異的性能,與生具來的導(dǎo)軌緊湊式安裝方式,也越來越得到各個設(shè)備廠家的青睞!臺達(dá)導(dǎo)軌式電源也應(yīng)運(yùn)而生,滿足了廣大用戶的要求。

      一、光刻機(jī)設(shè)備介紹

        激光標(biāo)刻機(jī)的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊,主要為免維護(hù)的OEM應(yīng)用面設(shè)計。YLM二極管泵浦光纖激光通過一條帶有金屬護(hù)套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為1.07微米,接近衍射極限(M2<1.05)高質(zhì)量激光束,高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護(hù)套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長的激光,激光在傳輸過程中不斷被放大后擴(kuò)束輸出。擴(kuò)束后的激光束投射到振鏡掃描器上,通過計算機(jī)控制振鏡快速轉(zhuǎn)動及激光的開關(guān),使激光束在X、Y方向掃描,通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上,使之表面瞬間燒蝕,最后在件表面形成需要的各種圖形符號。

        1、整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,與進(jìn)口貼片分選設(shè)備充分兼容,接口直接配合、簡單易用。

        2、基礎(chǔ)配置,采用進(jìn)口Fiber(光纖)小功率風(fēng)冷激光器,高速振鏡掃描系統(tǒng),打印準(zhǔn)確精致。

        3、激光打印系統(tǒng)控制核心,Laser Marking System購筑在Windows XP平臺上,控制軟件采用SCAPS軟件,控制卡采用高速USB2.0控制輸入,性能卓越穩(wěn)定,使用操作簡便,并可根據(jù)客戶的需求,隨時升級程序。

        4、根據(jù)客戶需求,可實(shí)現(xiàn)脫機(jī)運(yùn)行操控,一臺電腦主機(jī)操作多臺激光打印終端,標(biāo)刻終端由PDA操控。

        5、國內(nèi)首創(chuàng),更小巧,更靈活。

        6、直接編輯印章和同時打印多種規(guī)格印章,自動記數(shù)功能,隨意設(shè)置標(biāo)刻數(shù)量及統(tǒng)計所標(biāo)記管子總數(shù),設(shè)置數(shù)值高達(dá)十億位數(shù)。


      光刻機(jī)圖片

      光刻機(jī)雕刻樣品圖片

      二、臺達(dá)電源在光刻機(jī)上成功應(yīng)用

        1、電壓要求

        光刻設(shè)備工作電壓為直流28V,臺達(dá)最大輸出直流電壓為28V,完全符合使用要求。

        2、使用方式要求

        需要有正負(fù)28V電源輸出,第一個電源正端與第二個電源的負(fù)端共地使用,而且兩個輸出相互之間不能互擾。

        3、電源體積要求

        由于設(shè)備整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小的要求,所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧,不占用更多的空間。臺達(dá)電源采用導(dǎo)軌式,呈扁平型,尺寸為:126x32x113,安裝占用空間非常小,得到設(shè)備廠家和最終用戶的一致認(rèn)可。

        4、電源穩(wěn)定度要求

        由于光刻機(jī)激光光束需要高可靠性的直流電源,所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴(yán)格。臺達(dá)電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV,波峰切換(20MHz) (在正常值) < 240 mVpp,體現(xiàn)了良好的輸出特性。

        5、電磁干擾

        由于激光雕刻機(jī)是一個精密的設(shè)備,其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度,也就直接影響光刻效果,所以其電磁防護(hù)等級要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾,以免輸出電壓精度不高,同時自身也不能夠產(chǎn)生干擾,以免干擾其他設(shè)備的正常工作。臺達(dá)電源通過了EMC及防干擾認(rèn)證,很好的保證了現(xiàn)場使用的要求。

        綜上所述,雖然光刻機(jī)設(shè)備對電源的使用提出了十分高的要求,但是臺達(dá)電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實(shí)際過程中遇到的各種難題,把各種任務(wù)完成得非常的漂亮,由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽(yù)!當(dāng)然,良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫,臺達(dá)電源有此卓越的表現(xiàn),也是源于臺達(dá)電源有很多優(yōu)異的硬件指標(biāo)參數(shù)和特點(diǎn),下面列出了臺達(dá)的基本參數(shù)及特點(diǎn)。

      三、臺達(dá)導(dǎo)軌式基本參數(shù)及特點(diǎn)

        1、基本參數(shù)

      過載保護(hù)


      過壓保護(hù)


      過熱保護(hù)


      功率提升

      提升到150%可持續(xù)1

      MTBF

      >300K小時

      預(yù)期壽命

      10

      輸出保持時間

      >20ms(115V,滿載

      冗余


      保質(zhì)期

      3

      輸入規(guī)格

       

      輸入電壓范圍

      90~264V

      輸入頻率

      47~63HZ

      最大輸入電流

      1.7A(230V)

      效率

      >86%

      功率因數(shù)

      EN61000-3-2 STD.

      最大沖擊電流

      <50A(230V)

      漏流

      <1mA(240V)

      輸出規(guī)格

       

      輸出電壓范圍

      22~28V

      波紋噪聲電壓

      <240mV(85~264V輸入

      輸出電流

      2.5A

      輸入變動

      <0.5%(85~264V輸入,滿載

      負(fù)載變動

      <1%(額定輸入,0~滿載

      機(jī)械設(shè)計

       

      噪音

      <40dBA

      尺寸

      126×32×113mm(L×W×H)

      冷卻

      空氣對流

      輸入端

      M4*3

      輸出端

      M4*2

      底托橫檔

      TS35標(biāo)準(zhǔn)

      耐沖擊

      IEC 60068-2-27

      抗振

      IEC 60068-2-6

      防護(hù)結(jié)構(gòu)

      EN60950 (根據(jù)IP20)

      安全

       

      EMC\放射性

      B級/EN55022;CISPR22,B;FCC TITLE 47;EN1204-3(B[AC]A[DC])

      免疫力

      EN61000-4-2,1995; EN61000-4-3,1998; EN61000-4-4,1995; IEC61000-4-5,1995; EN61000-4-6,1996; IEC61000-4-12 IEEE C62.41; EN61000-3-3,1994

      認(rèn)證

      UL508,EN60950,CULUS60950,EN50178,EN60204,GS

      電壓暫降

      EN61000-4-11

      耐壓

      輸入到輸出:3KV;輸入到地:1.5KV;輸出到地:500V

      產(chǎn)品環(huán)境條件

       

      工作溫度

      "-20~+70"

      保存溫度

      "-25~+85"

      工作濕度

      <95%


        2、特點(diǎn)

        全球適用 AC輸入電源
        保護(hù)特性:短路/過載/過壓/內(nèi)部電涌
        空氣冷卻
        可安裝 DIN 標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)軌 TS-35/7.5或15
        絕緣等級 I
        高效率 >86%
        100%滿負(fù)荷燒機(jī)測試
        連接器方向設(shè)定易于識別輸入和輸出連接器
        連接器類型方便連接電纜和易維修
        全鋁合金 (AL5052) 或塑料外殼符合IEC60068-2 規(guī)格。
        經(jīng)得起高沖擊和震動環(huán)境。
        高附加價值(高功能與價格比例)
        國際安全標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
        符合RoHS規(guī)格
        易安裝
        三年保質(zhì)期

      四、結(jié)束語

        國內(nèi)市場電子設(shè)備行業(yè)的飛速發(fā)展,以及技術(shù)不斷的洗舊革新,無非是要提高設(shè)備的效率與穩(wěn)定性,設(shè)備的穩(wěn)定性源于高可靠性的器件。而設(shè)備供電電源是設(shè)備非常重要的一個環(huán)節(jié),因而對電源的性能勢必提出了更高的要求。如寬輸入出電壓范圍,良好的保護(hù)功能等等功能需求會顯得越來越迫切,臺達(dá)低壓電源源于臺達(dá)集團(tuán)優(yōu)秀的電源技術(shù)開發(fā)能力、優(yōu)異的品質(zhì)與良好的電源世界第一品牌形象,響應(yīng)了市場日異變化的需求,抓住了市場商機(jī),也使得用戶在電源的選擇上更加能夠得心應(yīng)手,推陳出新!臺達(dá)電源,真是在方寸之間彰顯精彩!

      文章版權(quán)歸西部工控xbgk所有,未經(jīng)許可不得轉(zhuǎn)載。

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