東北大學修復硅晶圓加工變質層獲得成功
日本東北大學大學院工學研究科納米力學專業(yè)閻紀旺準教授及廚川常元教授的研究小組利用納秒脈沖激光照射，成功完成了單晶硅加工變質層的完全修復。這是一種通過使用高頻納秒脈沖激光，同時完全消滅單晶硅加工物表面的非結晶層的單晶化和位錯的方法。該方法有以下四個特征。（1）由于絲毫不剔除材料，底板的形狀精度可維持原樣；（2）可使用高頻納秒脈沖激光器在極短時間內修復；（3）完全不排放化學廢液，是對環(huán)境無負面影響的清潔技術；（4）能夠用于形狀復雜的工件，進行局部選擇性修復和表面構成控制。
該方法可以使生成無缺陷的單結晶表面成為可能，有望在半導體底板及光學元件領域，實現新的制造工藝。是東北大學機械系研究的文部科學省21世紀COE項目之一——“納米技術基礎機械科學新領域”（項目負責人：莊子哲雄教授）的綜合研究項目之一，部分研究得到了新能源產業(yè)技術綜合開發(fā)機構（NEDO）產業(yè)技術研究資助事業(yè)的幫助。研究成果的一部分已在國際學術雜志《半導體科學與技術（SemiconductorScienceandTechnology）》上刊登。
該方法可以使生成無缺陷的單結晶表面成為可能，有望在半導體底板及光學元件領域，實現新的制造工藝。是東北大學機械系研究的文部科學省21世紀COE項目之一——“納米技術基礎機械科學新領域”（項目負責人：莊子哲雄教授）的綜合研究項目之一，部分研究得到了新能源產業(yè)技術綜合開發(fā)機構（NEDO）產業(yè)技術研究資助事業(yè)的幫助。研究成果的一部分已在國際學術雜志《半導體科學與技術（SemiconductorScienceandTechnology）》上刊登。
文章版權歸西部工控xbgk所有，未經許可不得轉載。
服務咨詢