北方微電子推出HSE200高密度等離子刻蝕機并實現批量銷售

北方微電子公司近期發布了HSE200高密度等離子刻蝕機，致力于為MEMS領域提供專業的設備工藝解決方案，HSE200高密度等離子刻蝕機一經推出便以其優越的技術性能獲得客戶信任，在機臺發布首月就成功實現機臺銷售，至今已獲得多家客戶訂單。

近年來，隨著智能手機、汽車電子、醫療電子、物聯網等產業的快速發展，對MEMS產品器件的需求量將會持續攀升，中國MEMS產業也逐漸開始崛起。

北方微電子公司全新亮相的HSE200高密度等離子刻蝕機是針對MEMS領域量身打造的深硅刻蝕設備。該刻蝕機采用了全新的技術路線，開發了高自由基密度的立體等離子源;采用高功率控溫系統可實現二倍于常規工藝的刻蝕速率;集成了雙等離子源控制、雙進氣系統控制，保證了各種MEMS工藝實現優異的均勻性;快速響應的MFC、匹配系統和軟件控制、近距離的gasbox設計，保證側壁形貌平滑控制。此外，該設備已全面發布了HSE200S\200C\200L全系列機臺，靈活的系統配置，適合研發、中試線、大規模生產線的不同應用，為客戶提供更全面的深硅刻蝕設備工藝解決方案，同時，該設備亦可擴展至2-8英寸先進封裝領域中的深硅刻蝕工藝。借助產業快速發展契機，將引領深硅刻蝕裝備市場的新格局。

一路走來，北方微電子通過以技術創新和新產品開發立足于半導體裝備解決方案領域，成果豐碩，成功開發了以刻蝕機、PVD和CVD三大類半導體裝備產品為基礎的20余類產品。此次北方微電子發布了國際領先的高深寬比深硅刻蝕設備，相信能為客戶帶來更大的驚喜。

新的力量、新的希望正在破繭而出，北方微電子愿意與產業鏈上下游加強溝通，充分把握新興市場的技術需求，實現技術前瞻性布局，以更先進的差異化技術、更全面的高品質服務，與MEMS及新興產業同仁攜手合作，共同成長，創造共贏產業生態環境。