3D表面微觀型面測量系統

&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;四種共焦位移傳感器AF16、C1、KF2、Tele和座標機Hyperion組成3D表面微觀型面測量系統： <br />平面移動范圍：50x50mm ；重復精度：0.5&micro;m ；回程間隙：優于3&micro;m ； <br />平直度：0.2&micro;m ,0.5&micro;m ；最大移動速度：30mm/s ；步進分辨率：0.5&micro;m ； <br />Z方向測量范圍(與選用的傳感器有關)：1.5mm (AF16) ；1mm (KF2/Tele) ；0.3mm (C1) ； <br />Z方向分辨率(與選用的傳感器有關)：10nm (AF16) ；100nm (KF2/Tele) ；25nm (C1) <br />接口：RS232 ; <br />尺寸：400x350x350mm ; <br />重量：40kg <br /><br />四種傳感器指標： <br />型號：AF16/C1/KF2/Tele <br />量程：1.5/0.3/1/1mm <br />分辨率：10/25/100/100nm <br />線性：0.2&micro;m/0.5%/1&micro;m/2&micro;m <br />重復性：10/10/30/100nm <br />測量間隙2/4/4/13.5mm <br />光源：半導體激光器780nm/鹵素燈55W/半導體激光器670nm/半導體激光器780nm <br />激光等級：1/－/2/1 <br />光斑直徑：1.9/9/1.7/2&micro;m <br />測量垂直度：90&ordm;±25&ordm; <br />響應：16HZ~10KHZ/30HZ~1500HZ/16HZ~1KHZ/16HZ~1KHZ <br />速度：60mm/s /- /550mm/s /550mm/s <br />輸出/數據接口：RS232/RS232/RS232,模擬/RS232,模擬 <br />欲了解更多關于產品的信息，請訪問真尚有公司網站 www.51sensors.com <br />