半導(dǎo)體圓晶片化學(xué)氣相沉積定位控制傳感器

在沉積（CVD）開始前，凱盟SMU-9000測(cè)量傳感器系統(tǒng)先保證支撐晶片的平面與分散加工氣體的噴射頭平行。傳感器用于保證平面的位置在規(guī)定范圍內(nèi)。凱盟系統(tǒng)提供模擬輸出（或可選的數(shù)字接口），如果平面傾斜，調(diào)節(jié)器就可將其調(diào)平。 <br />特點(diǎn)： <br />通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD）給硅晶片上一層均勻的薄膜 <br />保證晶片上的化學(xué)層均勻沉積 <br />直接測(cè)量：安裝于浮動(dòng)平面的傳感器環(huán)可直接測(cè)量噴射頭的位置 <br />非接觸高分辨率：1納米 <br />通用：系統(tǒng)有大量傳感器選件 <br />欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)真尚有公司網(wǎng)站 www.51sensors.com <br />